反拍样片投影光刻法

我所研制的感应同步器有三种类型:标准型直线形(长度在250毫米时精度为±2.5微米)和为四坐标数控机床用摆角为42°的扇形,以及外径为φ302的720极和1080极圆形。其中720极的经国家计量院鉴定,零位精度为±0.31角秒。目前直线感应同步器已大批量生产,带有耦合变压器的圆感应同步器,正在小批量生产。用照相腐蚀工艺制造高精度感应同步器时,所须的高精度母版,用反拍样片的投影光刻法制造,本文概要介绍这一方法。一、反拍样片的投影光刻方法众所周知,过去通常用刀刻法制母版,最近才出现光刻法。光刻法又有接触和投影(非接触)法二种,投影光刻法又有刀刻和反拍     

高精度(±2秒)感应同步器数显转台

由汉川机床厂自行设计、汉川机床厂和广州机床研究所合作研制的H CJT—7型高精度感应同步器数显水平转台系加工、计量两用转台,具有机械分度和数显分度双重分度系统。数显分变系统采用广州机床研究所生产的圆感应同步器作检测元件,可配用七机部七○八所     

TXG600高精度数显水平转台鉴定会

根据机械工业部下达的重点科研计划中第一批开发专项8214611号任务,TXG600高精度数显水平转台已由汉川机床厂在广州机床研究所的合作和在湖滨仪器总厂,航天工业部七○八所协作配套下提前一年研制成功。该转台是按照航天部提出的技术要求研制的,1982年12月由机械部在北京组织鉴定通过。