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TMAH腐蚀液制作硅微结构的研究 总被引:4,自引:2,他引:4
通过各向异性腐蚀硅微结构工艺,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)晶面腐蚀速率与TAMH溶液浓度、温度、pH值以及过硫酸铵添加剂的关系,并采用原子力显微镜研究了不同腐蚀条件下硅的表面形貌,研究表明:随TMAH溶液的浓度的降低和腐蚀温度的提高,腐蚀速率提高,硅腔的表面粗糙度增大;过硫酸铵添加剂明显改善了硅微腔的表面平整度.本研究所确定的最佳腐蚀工艺条件为:溶液中TMAH浓度为25%,过硫酸铵添加剂浓度为3%,腐蚀温度80℃.在此工艺条件下腐蚀出了深度为230 μm、表面粗糙度小于50 nm的硅微腔. 相似文献
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数字水印作为数字媒体版权保护的有效手段。受到极大关注,钽却没有一个良好的衡量手段来对数字水印算法作出合理的评测,本文总结了目前比较流行的数字水印算法衡量手段以及几种有效的数字水印的攻击手段,旨在帮助全面评测水印算法的性能,进而帮助改进数字水印算法,使数字水印算法具有更好的隐形性、稳健性、安全性,以促进数字水印走向实用化。 相似文献
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本文的侧重点在于讨论那些用于减少功耗的设计技术,这些设计经验及设计规则包括了设计周期中不同的几个方面,包括在系统级、寄存器传输级(RTL)及低层等几个方面的技术。 相似文献
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本文围绕室内空气质量综合监测控制网络系统的设计与开发工作进行研究和实践,详细介绍了在Windows环境中采用MSComm ActiveX控件开发串行通信程序的原理和步骤,并对给出的程序代码作了详细的解释和说明。 相似文献
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敏捷夹具CAD系统组成与自动构形设计方法研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了敏捷夹具系统组成,阐述了敏捷夹具的层次表示结构,提出了计算机辅助敏捷夹具自动构形可行的研究方法。 相似文献
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