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多晶硅尾气回收吸附塔再生气回收分析 总被引:1,自引:1,他引:0
多晶硅尾气回收中吸附塔再生气的主要成分为氢气,回收利用价值较高。阐述了多晶硅尾气回收吸附塔再生气冷凝气相回收利用的过程。分析发现吸附塔反吹气,经三级冷却将反吹气中的HCl、氯硅烷,进行分离回收,所得气相氢气回收再利用,造成回收氢气中的甲烷、氮气含量随时间变化累计增加。再生分离所得气相部分需要经过再处理才可进行回收利用。 相似文献
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