草酸沉淀法制备稀土抛光粉及其抛光性能

以稀土硫酸盐为原料,用草酸沉淀法制备了稀土草酸盐,然后在不同工艺下煅烧得到稀土氧化物(即稀土抛光粉);通过热重-差示扫描量热(TG-DSC)仪、XRD、TEM、抛光机等研究了稀土草酸盐的热分解行为和稀土氧化物晶粒的晶化过程、微观形貌和抛光性能。结果表明:经不同温度煅烧后的稀土氧化物晶相均为立方CeO2,550℃煅烧3h得到结晶不完整的空心球形颗粒,而950℃煅烧则得到晶粒发育较完整、带有明显棱角的类球形实心颗粒;抛蚀速率随煅烧温度升高和保温时间延长而增加,但提高温度的效果更显著,经950℃煅烧3h的抛光粉的抛蚀速率最高,达到368nm·min-1。