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采用射频反应溅射工艺沉积了α—SiC:H薄膜。利用微分扫描量热器(DSC)和差热分析仪(DTA)两种热分析方法确定了α—SiC:H薄膜的脱H过程和相转变温度,353.2℃脱Si—H和602.6℃脱C—H,并在1080℃相变结晶。在氨气流保护下的光热炉内进行热处理,Fourier红外光谱(FTIR)和反射谱的研究表明,400℃热处理后薄膜内的H含量急剧下降。高温热处理中的脱H过程有利于游离硅和游离碳的反应形成额外的Si—C键,促进薄膜致密,并能提高其在紫外部分的反射率,降低红外区域的反射率。热处理温度超过500℃,容易导致薄膜脱落。适当的退火工艺有利于拓展碳化硅薄膜在空间材料上的应用。 相似文献
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磁约束电感耦合等离子体增强反应溅射沉积nc-TiN/a-Si3N4纳米复合薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍一种新型磁束缚电感耦合等离子体增强的物理化学气相沉积复合系统,并用该系统通过反应磁控溅射TiSi合金靶,在氩气和氮气等离子体作用下,在单晶硅衬底上制备了nc—TiN/a—Si3N4纳米复合薄膜.扫描电子显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子谱仪和高分辨率透射电子显微镜的分析和观察结果清晰地表明该薄膜是具有纳米结构的复合薄膜,主要由镶嵌在非晶态Si3N4基体中的TiN纳米晶粒组成,TiN晶粒的尺寸约为3nm。 相似文献
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电导法研究TiO2溶胶对水中微量氯代甲烷的光催化脱氯的作用 总被引:2,自引:0,他引:2
利用二氧化钛溶胶进行光催化氯代甲烷的水溶液.二氯甲烷、三氯甲烷、四氯甲烷溶液在二氧化钛溶胶和紫外光的作用下,分解产生氯化氢的水溶液,氯离子和氢离子使溶液的电导率增大.在光催化二氯甲烷和三氯甲烷溶液时,二氧化钛溶胶的浓度与电导率的变化值有一定的关系.当二氧化钛的浓度过高时,光照所产生的自由基和氧空穴对中间产物作用导致二氯甲烷的降解反应速度变缓,反映在电导率的变化上,电导率的增加速度变缓.选择合适的二氧化钛的浓度,将有利于二氯甲烷和三氯甲烷的光催化脱氯.随着甲烷上氯取代度的增加,催化剂对其的催化脱氯效果依次降低,光催化效果依次为:二氯甲烷、三氯甲烷和四氯甲烷. 相似文献
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建立了玻璃熔窑三维数学模型对浮法玻璃熔窑的鼓泡进行模拟,详细研究了不同的鼓泡位置、鼓泡嘴插入深度、鼓泡个数对熔制玻璃的影响。得出鼓泡喷嘴应该在池底以上300mm左右;鼓泡点应在熔化部玻璃液的最高温度点附近;鼓泡器个数达到10或12个时,一排鼓泡才能形成一道“鼓泡幕”,起到阻挡上层液流的作用。 相似文献
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浮法玻璃熔窑内液流运动和传热三维数学模拟 总被引:2,自引:0,他引:2
本文从流动力学和传热学原理出发,结合浮法玻璃熔化作业特性,提出了浮法玻璃熔窑的三维液流运动及配合料熔化数学模型,建立了火焰与配合料和玻璃液之间的传热过程的半经验模型,通过计算,研究了浮法玻璃熔窑内液流运动特性,发现在投料池中存在一个独特的循环液流,并发现在配合料层覆盖下的上层玻璃液帻两侧池壁流向中心线,与热点处清情况刚好相反。 相似文献
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采用非水沉淀工艺制备了锐钛矿型纳米氧化钛(TiO2)。在冰醋酸的催化作用下, 钛酸丁酯在乙醇中发生非水解反应。冰醋酸的引入增加了钛酸丁酯中Ti-O键和C-O键的极性, 进而促进其在溶剂乙醇中发生非水解脱醚缩聚反应形成Ti-O-Ti键合。经过80℃回流24 h, Ti-O-Ti键重排形成锐钛矿型纳米TiO2。其粒径为5~20 nm; 比表面积为169.4 m2/g。非水沉淀法制备的纳米氧化钛分散性良好, 光催化性能优异。紫外光照2 h, 纳米氧化钛对甲基橙的降解率达99.81%, 具有良好的污水处理应用前景。 相似文献