硅粉中的杂质Al对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响

本文阐述了在三氯氢硅合成工艺中，工业硅粉中的杂质Al含量对三氯氢硅合成转化率和系统运行稳定性的影响，并以实际生产数据为依据，从经济损失的角度需要严格控制其硅粉中的杂质Al含量，以提高生产系统运行的稳定性，降低检修成本。     

硅粉质量对合成法生产三氯氢硅的影响

分析了硅粉质量对三氯氢硅合成的影响,包括:硅粉粒径对三氯氢硅收率和转化率的影响,硅粉含水量和杂质铝含量对系统运行稳定性的影响,以及杂质含量对合成三氯氢硅产品质量的影响。     

影响氯化氢含水量的主要因素及其控制措施

通过采用单因素变量法对氯化氢合成系统进行调试,找出影响氯化氢含水量的主要因素,主要包括:原料氯气含水量、合成炉运行负荷、合成炉石墨内筒渗水量、冷凝器冷媒温度。提出控制氯化氢中水含量的相应措施,使之达到进三氯氢硅合成系统的要求。     

影响多晶硅生产电耗的因素及控制措施

分析影响多晶硅生产电耗的因素(包括还原过程、氢化过程、电解制氢过程、干法尾气回收过程),提出生产多晶硅过程中降低电耗的措施。