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在多晶硅还原生产过程中,影响产品质量的因素主要有:硅芯氧化、爆米花、停炉倒棒。围绕还原生产过程中各个控制环节,提出如何提高多晶硅产品质量的措施。 相似文献
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为控制还原后三氯氢硅中杂质含量,采用Aspen Plus模拟软件对还原后三氯氢硅提纯塔进行模拟计算,考察了提纯塔的进料量、回流量和采出量对还原后三氯氢硅中硼、磷杂质的影响,并结合实际生产探索还原后三氯氢硅中碳和金属杂质的控制措施。结果表明:降低提纯塔进料量,提高提纯塔回流量和采出量能有效降低还原后三氯氢硅中硼、磷杂质含量。对还原炉钟罩、基盘和备品备件进行合理的维护和选用,能有效控制氢还原后三氯氢硅中碳和金属杂质含量。 相似文献
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本文介绍的是用于强流短脉冲电子直线加速器电子枪的高压稳定电源,是一台中型电源设备,输出电压从2千伏至12千伏,电流从零至100毫安连续可调。在需要高压大电流输出的场合,本电源也是通用的高压电源。一、引言在核物理实验中,高压电源是一种基本的电子学仪器。根据实验的要求,通常使用的高压电源输出电压为几千伏,输出电流为几毫安。本电源是根据实验工作的需要设计而成,它具有输出电压高、电流大、调节范围宽等特点。 相似文献
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