Mo/Al/Mo结构电极的坡度角和关键尺寸差研究

Mo/Al/Mo结构金属作为TFT的电极,刻蚀后的坡度角和关键尺寸差是重要的参数。明确影响坡度角和关键尺寸差的工艺参数,进而控制坡度角和关键尺寸差,这对工艺制程至关重要。本文探究了膜层结构、曝光工艺、刻蚀工艺对坡度角和关键尺寸差的影响,并对刻蚀工艺进行正交试验设计。实验结果表明:Al膜厚每减小60nm,坡度角下降约9°,关键尺寸差增加0.1μm。曝光工艺中,显影后烘烤会增加光阻粘附力,导致关键尺寸差减小0.1μm,同时坡度角增加约9°。刻蚀工艺中,过刻量每增加10%,坡度角下降3.3°,关键尺寸差增加0.14μm;正交试验结果表明,对关键尺寸差、刻蚀均一性、坡度角影响因素的重要性顺序是:液刀流量Air Plasma电压水刀流量。经上述探究表明,坡度角和关键尺寸差呈负相关关系,刻蚀程度增加,关键尺寸差增加,而坡度角则减小。可以通过调节工艺参数对坡度角和关键尺寸差进行控制。     

基于随机森林和聚类的连铸坯纵裂纹预报方法

纵裂纹是一种常见的铸坯表面缺陷,准确预测铸坯表面纵裂对于提高铸坯质量有着重要意义。针对纵裂纹形成与扩展过程中结晶器热电偶温度在时间、空间上的变化趋势,捕获和提取了热电偶时序温度的典型变化特征,采用随机森林(Random Forest,RF)对捕捉到的特征进行降维,筛选出与纵裂联系密切的相关特征,在此基础上建立了基于K均值(K Means)聚类的纵裂检测模型。结果表明,提出的基于温度时序特征和聚类算法的纵裂预测模型能够正确区分和识别纵裂纹和正常工况样本,将机器学习方法引入连铸过程异常监控提供了新的思路。     

试论结构加固技术在房屋建筑施工中的应用问题

经济社会的发展为我国房屋建筑的发展提供了更加广阔的发展空间,与此同时,也对房屋建筑的提出了更高的要求。在这种形势背景下,房屋建筑施工质量越来越受到人们的关注。但是,从实际情况来看,我国房屋建筑中还存在一些问题,不能很好地满足现实发展要求。而结构加固技术的应用则大大提高了房屋建筑工程的质量,对于促进房屋建筑发展具有重要意义。本文介绍了结构加固技术在房屋建筑中应用的必要性,并对结构加固技术在房屋建筑施工中的具体应用进行了分析,希望对促进房屋建筑发展能够有所帮助。     

热处理工艺对二氧化锡雾化粉粒度及均匀性的影响

以Sn为原料采用电弧等离子雾化工艺制备出四方相未完全氧化的纳米二氧化锡粉末,在空气气氛条件下,研究采用不同热处理工艺,氧化锡粉末生长速率与温度的关系.采用不同热处理温度和保温时间的热处理工艺对原始氧化锡粉末进行了热处理.采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等方法对样品进行了成分和形貌分析.试验结果表明,采...     

钢铁工业焦化废水治理技术研究

焦化废水主要是指钢铁工业生产过程产生的废水问题,成分复杂且多变,一般多集中体现在煤制焦炭、煤气净化等工作当中。根据当前治理情况来看,因焦化废水溶液中含有大量的无机污染物、杂环及多环芳香族化合物等成分,导致治理过程难以真正满足降解处理要求。如此一来,废水可生化性程度严重降低,不利于钢铁工业的可持续发展。为进一步促进钢铁工业焦化废水治理工作的发展,本文主要针对钢铁工业焦化废水治理技术的研究问题进行阐述,以供参考。     

基于动态时间弯曲和k近邻分类预测铸坯纵裂纹

纵裂纹是典型的铸坯表面缺陷,严重影响过程顺行和连铸坯质量。铸坯表面纵裂纹的识别和预测对于铸坯质量的提升具有重要意义。针对纵裂纹形成与扩展过程中,结晶器热电偶温度在时间序列上的动态演化和一维传播特征,捕获和提取了纵裂纹和正常工况下热电偶时序温度的典型变化趋势;运用动态时间弯曲(Dynamic Time Warping,DTW)方法度量不同工况下时序温度的相似性和差异性,结合k近邻(k-Nearest Neighbor,kNN)分类算法,建立了针对连铸坯纵裂的在线识别和分类模型。结果表明,建立的模型对纵裂纹和正常工况样本具有较高的识别准确率。提出的基于温度时序特征动态时间弯曲及kNN方法的纵裂预测模型,为铸坯纵裂的实时检测和准确预报提供了可靠途径。     

气化粉与湿法粉制备ITO靶材过程及性能对比研究

分别以ITO气化粉和湿法粉为原料,在相同工艺条件下,经过球磨、造粒、成型等工序制备了ITO靶材,研究了ITO气化粉和湿法粉制靶中间品及最终靶材的主要性能。结果表明:模压和CIP后,湿法粉坯体密度均低于气化粉的,但由于ITO湿法粉原料粒径细而均匀,烧结活性更高,故在较低的烧结条件下可制备出更高密度的靶材。     

基于密度聚类和动态时间弯曲的结晶器黏结漏钢预报方法的开发

针对漏钢时结晶器铜板温度呈现出的“时间滞后”和“空间倒置”等典型特征,本文通过引入动态时间弯曲(DTW)和机器学习中的密度聚类(DBSCAN)方法,提取、汇集并区分结晶器温度的典型变化模式,在此基础上开发出一种新型的漏钢预报方法。借助动态时间弯曲度量不同拉速、钢种或工艺操作条件下结晶器热电偶温度的相似性,并运用密度聚类方法聚集和分离正常工况、黏结漏钢状况下的温度样本,在此基础上检测和预报结晶器漏钢。结果证实,相较于传统的逻辑判断和人工神经元网络预报结晶器漏钢的方法,基于聚类的漏钢预报方法无需人为设置阈值或参数,能够依据漏钢历史样本中温度变化的共性规律,提取并融合热电偶温度在时间、空间上典型的变化特征,准确区分和预报结晶器漏钢,具有较好的自适应性和鲁棒性。      

空气纳米气泡的稳定性及理化特性

空气纳米气泡（Air-NBs）的理化特性是其广泛应用的基础。本文利用纳米粒度-zeta电位分析仪研究了水力空化原理产生的Air-NBs的理化特性,即粒径分布和zeta电位,考察了装置运行压力、电解质浓度、pH和温度对Air-NBs理化特性的影响;同时考察了去离子水和CaCl₂溶液中Air-NBs稳定性。结果表明：纳米气泡发生器的压力越大,其产生的Air-NBs的小粒径比例更大,且电解质的加入有助于气泡粒径的缩小。随着溶液中电解质浓度、pH和温度的升高,溶液中Air-NBs的平均粒径逐渐减小,但气泡间的聚结作用会导致其粒径随时间逐渐增大;通过对两种溶液中Air-NBs粒径的实时监测发现其能在溶液中存在5天之久。胶体稳定（DLVO）理论和zeta电位效应可以合理阐释溶液中Air-NBs的稳定性。