超声振动辅助微压印成形及其作用机制

进行了不同条件下的超声振动辅助微压印实验，并利用有限元方法分析了实验结果。结果表明，坯料高度较小时，超声振动能够显著提高微圆柱压印高度，最大增幅为350%。微圆柱压印高度随着超声作用时间的增加而增加，但当超声作用时间超过10 s后，材料达到超声振动条件下的成形极限，继续延长超声作用时间不再有明显的作用。超声表面效应使摩擦因数降低了76.4%,对微圆柱压印高度的增长起到主要作用，贡献率为94.8%,超声体积效应使材料流动应力下降了16.8 MPa,对微圆柱压印高度增长的贡献率仅为5.2%。