稀薄气体流动的粒子图像测速实验研究

建立了一套可对真空度进行调节的实验装置,从大气压开始逐渐降低系统压力,进行系列稀薄气体流动的PIV流场实验.系统压力从101kPa、90kPa逐次降至10kPa,使用所选粒子在不同系统压力下分别进行PIV实验获得测量区域流场分布情况.运用计算流体力学的方法模拟大气压条件下实验区域的内部流动,对比结果发现该种条件下数值模...     

大型高真空容器的气体负荷分析

随着科学技术的进步,某些用途的真空装置向大型化、高真空度的方向发展。分析表明材料出气和漏气是大型高真空容器的主要气体负荷,在容器及密封结构设计、检漏设计、制造工艺技术分析中应重点研究,以提高大型高真空装备的技术水平。     

HFC制冷剂压缩机和系统设计与应用分析

HCFC(氢氟氯烷烃)制冷剂的替代及实现商品化的工作在当前倍受关注,目前,最有希望的替代制冷剂为HFC(氢氟化烷烃)类的R407C和R410A。本文针对HFC类制冷剂压缩机和系统在设计和商品化过程中的技术课题进行了分析,并力求提出可行的措施。     

滚动转子压缩机的CFD模拟

基于计算流体力学（CFD）方法并采用动网格技术建立了滚动转子压缩机的数值分析模型,模拟循环的结果符合理论工作循环。经与试验对比验证模拟的容积效率和指示效率准确可靠,模拟的载荷变化为动载荷下机械损失的研究和评价提供了依据。对流场的分析表明气液分离器内的压力变化主要集中在排气弯管内,压力波动过程中存在气体动能和势能的相互转化,设计改进应以减少能量转化过程中的损失为目标。     

等螺距螺杆真空泵内气体流动的数值模拟研究

应用计算流体力学（CFD）方法对螺杆干式真空泵进行数值模拟计算,建立了针对螺杆干式真空泵流场的分析方法。对泵腔中流动区域进行三维建模,采用SCORG和ANSYS-ICEM软件对转动域和固定域分别进行了网格划分,利用瞬态模拟方法得到了泵内压力场、速度场和温度场的分布情况,并计算出抽气速率等参数。网格无关性分析结果与理论数据对比表明数值模拟结果可靠,符合预期。     

Influence of Hysteretic Behaviour in Reactive Magnetron Sputtering on the Crystal Structure and Characteristics of Aluminium Oxide Films

The influence of the hysteretic behaviour in reactive sputtering with a pure aluminium target in the presence of argon and oxygen plasma on transmittance and surface free energy of aluminium oxide films was investigated by plasma optical emission spectroscopy technology. The evolutions of aluminium, and aluminium oxide emission lines as functions of oxygen flow rate at constant power and pressure were studied. A steep transition from the metallic sputtering to the compound sputtering was observed upon increasing the oxygen flow rate from 0.0 SCCM to above 2.0 SCCM. Then an optimal deposition zone was obtained through analyzing the hysteretic curves of aluminium and aluminium oxide emission lines. The evolution of crystal structures of samples was discerned by X-ray diffraction spectra data. Energy dispersive X-ray spectroscopy data also demonstrate the relationship between the chemical compositions of aluminium oxide films and the hysteretic behaviour. The film deposited between 1.5 SCCM and 2.0 SCCM oxygen flow rate displays an optimal and stoichiometic atomic ratio of O to Al and mass ratio of O to Al. The changes in the transmittance of samples were discovered to depend on the oxygen flow rate by UV-VIS transmittance spectra, and the changes in surface free energy were studied by contact angle measurement.     

基于CFD的滚动活塞压缩机容积效率分析

基于计算流体力学（CFD）方法,并采用动网格技术建立了滚动活塞压缩机的数值分析模型,再结合理论计算和试验数据对影响容积效率的主要因素进行了研究分析。结果表明：容积系数和温度系数符合理论预期,压力系数与进气通道流动阻力引起的吸气腔压力波动直接相关,泄漏系数是影响容积效率的主要因素。表明该方法可有效识别各因素对容积效率的影...     

DyAl薄膜真空扩散渗及时效处理对烧结NdFeB磁性和耐蚀性的影响

采用直流磁控溅射的方法,在烧结NdFeB磁体表面制备DyAl合金薄膜,对镀膜样品进行了真空扩散渗(800℃×6h)和时效处理(900℃×2.5h+490℃×5h),研究其耐热性和耐蚀性。经过真空扩散渗及时效处理,磁体的内禀矫顽力Hcj提高14.7%,磁体PCT失重从26.155 mg/cm2降低为1.731 mg/cm2,动态极化曲线显示Dy、Al元素的扩散改变了基体的腐蚀电位和腐蚀电流。结果表明,DyAl薄膜扩散进入NdFeB表层基体中,提高了磁体的耐热性和耐蚀性。     

真空热处理对镀Al薄膜NdFeB磁体组织和耐蚀性的影响

用直流磁控溅射工艺,在NdFeB磁体表面镀Al薄膜,并对镀Al薄膜的磁体进行真空热处理,研究工艺、温度和时间对镀层成分、组织和性能的影响。结果表明:NdFeB镀Al薄膜磁体经650℃,10 min热处理后,综合性能最佳,Al膜层与Nd-FeB磁体在界面产生冶金结合,增强了界面结合力,又保持了Al膜层的完整性、连续性和良好耐蚀性。通过对样品微组织的观察发现,当热处理温度高于650℃时,Al膜层与基体之间产生互扩散,形成新的RFeAlB相,随着温度继续升高,新相的长大,破坏了Al膜层的完整性和连续性,产生许多微缺陷和裂纹,耐蚀性降低。     

大型真空容器的漏率控制与密封设计

随着科技进步,真空装备向大型化,高真空的方向发展。本文针对大型真空容器的检漏和密封设计进行了分析。当容器容积在2000 m3量级时,氦质谱检漏仪接到前级真空侧理论上能够实现反应和清除时间约10 s,检漏灵敏度约1×10-9Pa·m3/s的总装检漏。考虑到总装检漏实际实施上的不确定性和补漏困难的问题,通过密封和检漏设计,提高建造过程中的检漏水平和质量显得尤为重要。文中对焊缝检漏、大型真空法兰的密封及检漏结构、大型真空阀门的使用等进行了分析。