Effect of Methane Flow Rate on Growth and Properties of TiSi-C:H Films Deposited by Middle-frequency Magnetron Sputtering

以甲烷为先驱气体通过中频磁控溅射Ti80Si20靶材在硅和不锈钢基底上制备TiSi-C:H薄膜,研究了甲烷流量对薄膜沉积速率、结构、力学和摩擦学性能的影响。结果表明,甲烷流量对薄膜结构、力学和摩擦学性能有显著影响,随甲烷流量增加薄膜从包含约10 nm晶的锥状纳米晶/非晶复合结构向非晶结构转变,在低甲烷流量下沉积的薄膜具有高硬度、高应力和高磨损率;在高甲烷流量下薄膜硬度和应力降低,而摩擦学性能提高。薄膜力学和摩擦学性能的变化被认为是随甲烷流量增加薄膜结构演化的结果。     

浅议土工积物的工程应用与造价的合理影响

结合工程实例，提出城市水泥砼道路局部构造设计的改进对保证道路使用年限的意义；并对由此而增国听工程费用的合理性进行了初步分析。     

甲烷流量对中频磁控溅射制备TiSi-C:H薄膜生长和性能的影响（英文）

以甲烷为先驱气体通过中频磁控溅射Ti80Si20靶材在硅和不锈钢基底上制备TiSi-C:H薄膜,研究了甲烷流量对薄膜沉积速率、结构、力学和摩擦学性能的影响。结果表明,甲烷流量对薄膜结构、力学和摩擦学性能有显著影响,随甲烷流量增加薄膜从包含约10 nm晶的锥状纳米晶/非晶复合结构向非晶结构转变,在低甲烷流量下沉积的薄膜具有高硬度、高应力和高磨损率;在高甲烷流量下薄膜硬度和应力降低,而摩擦学性能提高。薄膜力学和摩擦学性能的变化被认为是随甲烷流量增加薄膜结构演化的结果。     

自钻式锚管在软土层基坑支护中的应用实例

本文结合工程实例介绍了自钻式锚管在淤泥质土及砂层中的设计分析、抗拔试验以及基坑支护中的成功应用,为自钻式锚管在软土层中的应用积累了宝贵的经验。