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为了解决双波长测温不同波长的变换和精确定位测量的问题,设计了一种基于单片机的变换结构,利用电机匀速反馈控制电路和单片机周期捕获功能,准确跟踪和定位采样位置。基于这种结构提出了一种双波长测温法的暗电流电压修正方法,大大提高了测量的精度。通过实验使用设计的测量结构拟合出双波长温度测量函数,测量精度在1℃之内。 相似文献
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为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOCVD的加热炉结构改进和工艺过程控制有很大的指导意义。 相似文献
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