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高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析 总被引:2,自引:0,他引:2
为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能,设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器,并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析。推导了热传导和热弹性理论,并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述;在整个分析过程中,使用ANSYS软件并结合有限元方法对全尺寸传感器的热效应进行模拟。结果表明,在接触工作状态双凹槽接触式电容压力传感器的温度对输入(压力)-输出(电容)特性的影响是线性的,且线性范围内初始压力随温度的升高而降低;当温度载荷为550 K时,双凹槽结构的灵敏度为1.21×10-6pF/Pa,比传统单凹槽的0.8×10-6pF/Pa高出50%,表明该压力传感器有着非常优异的高温特性。 相似文献
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在无线传感器网络(WSNs)中,由于节点数量较多,使得无线信道资源极其有限,如何分配有限的无线信道资源一直是WSNs和无线通信网络的研究热点之一.博弈论是一种有效的资源配置方法,以博弈论中的抓钱博弈为基础,引入了信誉机制和权重机制用于分配无线信道资源.信誉机制用于实现用户使用信道的公平性,权重机制用来增加算法的真实性和信道的利用率.使用Matlab作为仿真工具对使用该算法两个用户进行仿真分析.仿真结果表明:该算法在提高信道资源利用率的同时,保证了信道使用的公平性. 相似文献
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为了提高偏亮和偏暗图像的增强效果,提出了一种改进的直方图均衡化和SSR算法相结合的灰度图像增强方法.对原始图像进行改进直方图均衡化增强,提取低频分量进行直方图均衡化,与高频分量融合;对原始图像进行SSR算法增强;将得到的2个图像进行加权融合.结果表明:新方法得到的图像比原始图像细节特征突出,视觉效果明显改善;对比度和信息熵得到提高、亮度得到调整.在医学X射线图像上验证了其可行性,与其他增强算法相比,新方法更有利于图像的准确分析. 相似文献
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与其他类型压敏器件相比,接触式电容压力传感器(TMCPS)有着明显的优点,例如较好的线性,高灵敏度和大过栽保护能力等.为了达到更好的性能,设计了一种新型的接触式电容压力传感器(DTMCPS),这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻蚀了一个浅槽.与现有的接触式电容压力传感器相比,这种结构可以实现更好的线性和更大的线性范围.使用有限元分析软件对膜片的变形进行了分析并阐述了传感器的结构和工艺过程.分析结果表明这种新型结构的传感器可以在保持传统结构优点的同时实现更高的灵敏度,更好的线性和更大的线性范围. 相似文献
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