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基于像散原理的光学检测系统,是通过对光路系统聚焦信号的离焦量FES的检测实现微位移的测量.四象限光电探测器作为检测系统的光电转换传感器,需要设计光电探测器电路,实现对FES信号的检测,并由微单片机系统采集处理,通过串口通信传给PC机进行数据存储和被测对象二维图像分析和重建.通过将所设计的电路集成在光学测头装置上进行实验测量,光电转换信号稳定,相对误差小于5%.  相似文献   
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从球压试验压痕尺寸的传统测量方法、压痕尺寸测量的新技术两个方面对该领域的国内外研究进展进行了综述,总结了有代表性的研究成果并指出其未来的发展趋势.  相似文献   
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