日本EBV—6DA型镀膜机及其安装调试

日本EBV-6DA型镀膜机是光学镀膜专用的现代化镀膜机。它采用了全自动程序控制的抽气系统;膜厚及速率自动控制系统;剩余气体质谱分析系统等先进技术和一系列安全保护系统。1979年我所进口了一台,经过一年多的装调已正常运转。本文概述此镀膜机的特点及其装调过程。