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平面和球面激光扫描干涉仪包括扫描干涉仪头(光学机械部分),锯齿波信号发生器,光电接收器和放大器。主要机械结构件采用低膨胀系数的因瓦合金,光学件用熔石英,压电扫描元件用PZT压电陶瓷圆筒。F-P镜片的安装采用可折卸式, 相似文献
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