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1.
硅-玻璃静电键合中的电流-时间特性分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
在微传感器和微机械结构的静电键合实验中 ,当加电压到键合片对上时 ,外电路的电流迅速上升到一定值后 ,不是逐渐减小 ,而是较缓慢的继续上升 ,或在某一值停留一段时间再逐渐减小到最小值。通过对实验现象的分析 ,认为键合的电流 -时间特性主要是下述两个过程的综合反映 ,键合过程中接触电阻的减小引起的电流增大和空间电荷区形成引起的电流减小 ,正是由于这两个主要因素导致了上述现象的存在  相似文献   
2.
王慧  郭霞  梁庭  刘诗文  高国  沈光地 《半导体学报》2006,27(6):1042-1045
对晶片进行亲水表面处理,在氮气保护下500℃热处理10min,成功实现GaAs与GaN晶片的直接键合,键合质量较好.扫描电子显微镜观测结果表明,键合界面没有空洞.光致发光谱观测结果表明,键合工艺对晶体内部结构的影响很小.可见光透射谱测试结果表明,键合界面具有良好的透光特性.GaAs与GaN晶片直接键合的成功,为实现GaAs和GaN材料的集成提供了实验依据.  相似文献   
3.
多发射极Si/SiGe异质结晶体管   总被引:1,自引:0,他引:1  
在硅衬底上外延生长一层Si_(1-x)Ge_x合金材料,它的带隙随组分x的增加而变窄,如果用Si_(1-x)Ge_x窄带材料作晶体管基区,利用硅作为集电极和发射极构成双极晶体管,就可以很容易实现器件的高频、高速、大功率。设计了一种以Si/Si_(1-x)Ge_x/Si为纵向结构,梳状10指发射区为横向结构的异质结晶体管,利用双台面工艺方法制造出具有如下参数的器件:电流增益β=26、V_(CB)=7V、I_(CM)≥180mA、f_T≤ 2GHz,实现了高频大功率,充分显示出Si/Si_(1-x)Ge_x材料的优越性。  相似文献   
4.
本文从理论上分析了实现InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱激光器高光功率转换效率、高输出功率的有效途径,并优化了器件结构,可以同时获得低的腔面光功率密度和小的垂直于结平面远场发散角.利用分子束外延生长构成了高质量InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱激光器,其最高光功率转换效率为53%、最大输出功率为3.7W,垂直于结平面方向远场发散角为30°  相似文献   
5.
利用Ni/Ge/Au/Ni/Au和Pd/In两种金属结构成功地对体硅掺杂N-GaAs半导体(Nd=10~(18)cm~(-3))和离子注入N-GaAs半导体(dose=8×10~(12)cm~2,注入有源区深度(d=0.2μm)制成低阻欧姆接触。并对实验结果和接触机理进行了讨论。所得合金接触的接触电阻率分别为10~(-6)Ωcm~2(10~(18)cm~(-3)掺杂),和10~(-3)Ωcm~(-2)(8×10~(12)cm~2注入)数量级并具有长期的稳定性。接触制备方法和GaAs工艺相适。  相似文献   
6.
研究闪存(NOR)的读取原理,并针对读取失效的模式进行分析讨论,通过测试的时延来解决测试程序时钟的误判问题。  相似文献   
7.
在液氮温度下具有高增益的SiGe/SiHBT   总被引:5,自引:3,他引:2  
本文分析了硅双极晶体管电流增益在低温下减小的原因.通过优化设计,研制出在液氮温度下具有高增益的SiGe/SiHBT,并分析了其工作机理.  相似文献   
8.
侧钻井完井是在原有的生产套管内悬挂特殊尺寸的小套管,井筒具有上下内径尺寸差异大、事故段作业空间小的特点,此类井内处理复杂事故难度大。为此,从工具设计、作业管柱选择、循环携屑问题的解决等方面入手,归纳总结出一套适合处理侧钻井小井眼内事故复杂处理的工艺方案,并在现场应用中达到了预期效果。  相似文献   
9.
垂直腔面发射激光器新型结构的特性比较   总被引:3,自引:1,他引:2       下载免费PDF全文
通过对一种微分量子效率可以大于1的新型多有源区隧道再生应变量子阱垂直腔面发射半导体激光器(VCSELs)结构,以及由此设计出的阈值电流更小、输出功率更大的器件与普通结构在反射率及注入电流都相同的条件下输出功率大小的比较及阈值电流密度大小的比较,从而在理论上证实了这种VCSELs新型结构的优势。  相似文献   
10.
城市桥梁加固技术方法研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
王维国  孙伟  高国 《山西建筑》2009,35(23):321-322
通过对桥梁加固技术途径及设计原则进行分析,总结了一系列桥梁加固方案以及各自的适用范围、优缺点,并指出桥梁加固改造应注意的问题,旨在通过选择合理的加固方法进行加固设计,以确保桥梁使用安全.  相似文献   
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