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为了研究低杂波天线端口附近的电子密度对低杂波耦合、驱动电流的影响,设计了端口探针系统测量等离子体放电期间天线端口密度的变化。该系统由探头和传输线、电路和信号隔离、信号采集设备三部分组成。以数据采集设备为硬件基础,并基于LabVIEW图形化编程环境,编写了数据采集程序。测试表明:该探针系统达到设计目标、能够稳定可靠运行,满足实验运行需求;4.6 GHz低杂波天线的最适耦合密度值为1.0×1018~2.0×1018 m-3,与理论预测和数值模拟结果相符。 相似文献
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