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本文介绍一种用于DSW投影光刻机的电视扫描同轴对准装置及数字信号处理方法。装置采用电视摄象机作为图像信息传感器,模拟量积分压缩数字量,微处理机精确计算硅片和模版的偏移量并控制工作台作微小调整。该装置已具有刻出1.2μ宽线条所需的±0.3μ对准精度。
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宝石折射率测定仪研制解兰昌，
余中如一、引言天然宝石绝大多数为矿物结晶体或非晶体，它具有固有的光学特性（如折射率和偏大性等）。宝石折射率测定仪就是利用光学原理，能十分精确地测定各种宝石的折射率，因此成为鉴定宝石的一种重要工具。通过宝石折射率的测定不仅可...
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