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CMP系统技术与市场 总被引:3,自引:1,他引:2
葛劢冲 《电子工业专用设备》2003,32(1):17-24
概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。 相似文献
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基于直升机目标旋转部件的调制模型,本文针对防空雷达提出了分析直升机信号特征的一种新方法——WVD法,并对直升机目标旋转部件调制回波信号在不同噪声情况下加以仿真分析,结果表明:用WVD分析雷达回波中直升机信号特征是一种非常有效的方法。 相似文献
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