X—Y振镜扫描失真及其校正

本文主要叙述了在二维振镜光扫描系统中的线性失真和枕形失真问题,对枕形失真的误差形成和实际补偿方法进行了理论分析,并且利用电子线路实现对枕形失真的校正。     

非晶硅太阳电池的激光刻划

对一台用于非晶硅太阳电池的激光刻划和计算机控制系统进行了理论分析,成功地完成了非晶硅和透明导电膜的刻划工艺。