高纯难熔金属及其硅化物在微电子领域的应用

现代微电子装置使用了高纯难熔金属硅化作为接点，栅极，布线，阻挡层和集成电路的喷涂金属粉。这些材料良好的化学稳定性和热稳定性为厚度不到１μｍ的集成电路的设计铺平了道路。这些应用的重要的先决条件是制取碱金属，碱土笔过渡族元素的含量低于０．０５ｍｇ／ｋｇ（ｐｐｍ）的高纯难熔金属及其硅化物。铀和钍的残余浓度甚至降到０．０００５ｍｇ／ｋｇ（ｐｐｂ）以下。     

钨铼合金丝米电阻随直径变化的统计分析

本文讨论了用于电真空器件阴极热子的钨铼合金丝米电阻随直径的变化规律,并最终得到了WRe3,WRe20和WRe25合金丝米电阻随直径变化的经验公式。     

MoO3/Mo混合预压制粒制备粗钼粉

介绍一种粗钼粉的制备方式。在钼粉中加入一定比例的氧化钼粉和水,经预压制粒、氢气保护气氛下还原烧结、分级处理,制备出粗钼粉。