实现多层混合刻蚀薄膜大面积均匀的方法浅探

采用多层光刻工艺结合氩离子铣的混合刻蚀方法，刻蚀高Ｔｃ超导ＹＢａＣｕＯ／ＺｒＯ２（１００）薄膜图形，取得了较好的结果。在进行氩离子镜的工艺步骤中，使用普通氩离子铣设备（离子束斑极不均匀），但采取了一定的措施─－使被刻样品在刻蚀台座上可移动，模糊地实现了薄膜的相对＂大面积＂（直径φ≥２０ｍｍ）均匀刻蚀─－可同时刻蚀２～３片６ｍｍ×１０ｍｍ薄膜，并且被刻蚀部分表面起伏约在１０ｎｍ左右。图形样品的最小线条达２μｍ，其Ｔｃ、Ｊｃ人与刻蚀前薄膜的Ｔｃ、Ｊｃ相当，即：ＴＣ为８５～９０Ｋ，Ｊｃ～１０６Ａ／ｃｍ２（在７７Ｋ下）。     

低温等离子体对血管内金属支架的表面改性

生物材料用于人体必须要具备生物相容性。尤其是与血液相接触的材料如血管内支架必须要具备血液相容性。材料的表面特性直接影响血液系统中是否会出现血栓。本文针对金属血管内支架的表面特性、与血液的界面反应以及用于提高血液相容性的低温等离子表面改性进行了简要综述     

低温等离子体对血管内金属支架的表面改性

生物材料用于人体必须要具备生物相容性。尤其是与血液相接触的材料如血管内支架必须要具备血液相容性。材料的表面特性直接影响血液系统中是否会出现血栓。本针对金属血管内支架的表面特性、与血液的界面反应以及用于提高血液相容性的低温等离子表面改性进行了简要综述。     

高功率扁平放电管氦氖激光器的研究

用扁平放电管设计并研制成高功率氦氖激光器。这种氦氖激光器的输出功率可以通过增加放电管的横向尺寸来提高。放电截面为２０×４．５ｍｍ２和放电长度为１．７ｍ的这种氦氖激光管在０．６３μｍ的激光输出功率可达２００ｍＷ以上。本文简要阐述并讨论了这种氦氖激光器的设计原理和初步实验结果。     

电弧放电制备碳化硅纳米棒

用电弧放电法制备了碳化硅(SiC)纳米棒.将摩尔分数为50%C,25% SiO2和25% Si粉末充分混合,填入已在中心钻孔的石墨棒中,作电弧放电阳极,水冷铜块作阴极,腔内充66.5kPa氩气,放电电流为80A.分析放电后沉积在腔内壁的粉末,高分辨率透射电镜照片表明:粉末中有结晶良好的SiC纳米棒,直径约10～20 nm,长径比为10以上,并且纳米棒头部缀有金属纳米粒子.X射线衍射分析表明:粉体中主相为β-SiC,有少量Cu,Raman光谱中775 cm-1有1个尖锐峰.分析认为,少量阴极材料Cu被电弧蒸发作为催化剂并由气液固过程生成了SiC纳米棒.     

矩形放电管中等离子体参量的理论分析

用矩形截面放电管结构可以明显地提高He-Ne激光器单位放电长度的输出功率。本文从理论上分析了这种放电管中等离子体参量与几何尺寸的关系。     

氩离子激光器的直接调制特性

氩离子激光器的激光功率往往随着放电电流的增加而增加,因此可以用简易的直接电源调制激光输出。我们用小功率玻壳氩离子激光器作直接调制试验,观测这种工作状态的极限工作性能。调制电源由三相半波整流电源、滤波电路和晶体管线性调制器构成,以便输入不同波形的信号。 当输入正弦波时,测得不同调制频率时的激光     

高功率氦氖激光器及其应用

一种新同高功率扁平放电和氦氖激光器研制成功。本文阐述了这种主高功率氦氖激光器的设计原理和输出特性，包含两支上述激光管的高功率氦氖激光器输出功率可达４００毫瓦，还简介了它在激光医学等方面的应用。     

连续运转Ar~+激光器的最佳气压分析

本文从 Tonks-Langmuir 低气压放电正柱理论出发,推导氩离子激光器输出功率和充气压力的关系,由此求得最佳气压,讨论了最佳气压的影响因素,并与实验结果相比较。