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1.
用基于改进的RCA清洗液结合兆声清洗法和离心喷射法清洗抛光的硅片,干燥后用激光扫描法测试抛光硅片表面颗粒.结果表明,改进的RCA清洗液结合兆声的清洗方法对于去除硅片表面的微小颗粒具有更高的效率.  相似文献   
2.
对抛光片清洗技术的研究   总被引:3,自引:3,他引:0  
研究了一种新颖的添加了表面活性剂和HF的RCA的改进工艺,并和标准RCA工艺与目前被广泛采用的稀释RCA工艺进行了比较后指出,改进工艺对金属沾污和表面颗粒的有效去除能力,使0.18um以上的颗粒能够控制在15颗以内,金属沾污能够有效降至109原子cm-2以下(Al略高小于1010cm-2).  相似文献   
3.
使用SB-G型引气剂可以明显提高混凝土的抗冻耐久性,改善混凝土的抗渗性和拌合物的和易性,减少拌合物的泌水性,利珩施工,延长工程使用寿命,同时还可以节省工程费用,效益可观,是值得水利工程建筑建设中大力推广使用的。  相似文献   
4.
用基于改进的RCA清洗液结合兆声清洗法和离心喷射法清洗抛光的硅片,干燥后用激光扫描法测试抛光硅片表面颗粒.结果表明,改进的RCA清洗液结合兆声的清洗方法对于去除硅片表面的微小颗粒具有更高的效率.  相似文献   
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