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沈悦  谢珩  张毓捷 《激光与红外》2007,37(12):1281-1282
根据目前混合式红外焦平面互连工艺以及对长波线列延时积分红外探测器产量增长的需求,结合现有的工艺设备能力,开发出"共片工艺",以最大限度地提高在互连工艺段的生产效率.  相似文献   
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