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本文讨论了用辉光放电法制备氮化硅薄膜时衬底温度、射频功率和气体流量比对薄膜的电导率、介电常数和击穿强度的影响。通过优化生长条件,制备了优质非晶氮化硅薄膜,其介电常数为7.5、击穿强度为5.5MV/cm、电导率为10-13(Ωcm)-1。 相似文献
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近年来煤炭的贮存倾向于推广室内贮存法,室内贮存又以筒仓形式居于首位.筒仓贮煤的特点是:有效容积和贮煤高度较大,占地面积较小,容易全自动卸煤,便于多品种煤的贮藏,少量贮煤亦经 相似文献
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游框锉掏法是修理卡尺磨损量的一种简便、经济的方法。除双头卡尺和部分进口卡尺(塞铁在外测量爪一面的)外,一般都可用这种方法修复磨损量,如上海量具刃具厂生产的三用卡尺、两用卡尺、单面卡尺;哈尔滨量具刃具厂生产的三用卡尺(如果塞铁一面无支紧小螺钉时,需加装两只支紧小螺钉)等,同时也适用于有单面外量爪的游标高度尺。 相似文献
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利用红外光谱研究了等离子体化学气相沉积(PECVD)方法淀积的a-SiN 相似文献
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