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激光微细熔覆快速制造微加热器阵列 总被引:1,自引:0,他引:1
采用激光微细熔覆法制备了2×2和1×4微加热器阵列,研究了激光扫描功率和速率对微加热器图形线宽的影响.结果表明,线宽随激光功率增大而增大;随扫描速率增大而减小.并对2×2微加热器阵列进行了性能测试.研究了加热时间、电压和空间位置对温度的影响规律.结果表明,微加热器温度随加热时间的延长而升高并最终达到稳定值;随电压的增加而升高;加热区域离微加热器越远,温度越低.对恒定电压下的升温速率进行了计算和测定,第一分钟内加热速度可达0.45℃/s.最后,给出了所制作的微加热器及其阵列的示例. 相似文献
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采用激光微细熔覆技术,利用钌系厚膜热敏电阻浆料,在质量分数为96%的Al2O3陶瓷基板上成功地制作出热敏电阻器。热敏电阻图形的极限线宽线距能达到60 μm。元件的电阻温度特性(TCR)值为2.33×10-3 /℃,热响应时间2.3 s,线性度达到0.6 ℃,有着良好的重复性、热稳定性和迟滞性。通过实验得出了激光处理工艺中参数对元件性能的影响规律。对所制作热敏电阻元件的各项电性能进行测量,并与传统工艺制作的元件进行了比较,测试结果证实新工艺制作的元件具有相对优良的特性,有较强的实用前景。 相似文献
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激光加工技术正在世界范围内得到越来越广泛的应用.对于薄板以及精密加工来说,采用脉冲工作方式,可以减小热影响区,提高表面质量.在加工电子行业中表面组装用的模板(SMT Stencil)时,YAG激光显示出传统方法所不可比拟的优越性.传统的化学刻蚀法加工精度低、工序多、周期长,特别是受刻蚀因子的限制,模板的最小缝隙宽度不能低于模板厚度的1/2,因而难以满足日益发展的微电子技术对电子线路制作精度的要求.采用激光精密切割技术对模板进行加工,不仅可以降低加工成本,缩短加工周期,而且可以提高加工精度.尤其是可对成品模板进行再加工.目前,国外对激光加工模板的研究已经日趋成熟,而国内关于这方面的研究才刚刚起步.作者利用Nd∶YAG脉冲激光器和精密机床,开发了一套WINDOWS下SMT模板的加工系统,它可以根据用户需求自动生成加工文件,完成各种复杂图形的精密加工,投入使用后取得了良好的效果.本文将详细介绍该激光精密加工系统的基本特点、构成和加工实例.(PE9) 相似文献
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一种激光微细熔覆直写布线的新技术 总被引:4,自引:7,他引:4
激光直写技术因其不需要掩模就可以在绝缘基板表面直接制备各种高精度、复杂形状的导电层而受到广泛重视。但是,布线速度过低和工艺复杂一直是阻碍该技术工业化应用的瓶颈。提出了一种以导电金属粒子、有机成膜物质构成的复合导电浆料为熔覆物质,以有机环氧板为绝缘基板,采用CO2激光加热直接制备线路板的新工艺、新方法。所布导线宽度为350μm,布线速率为2~20mm/s,所用的激光功率为0~20W,光斑直径约为100μm。系统研究了激光直写导电层的组织结构特征、导线与基板的结合强度以及导线导电率的变化特征。结果表明,激光微细熔覆直写布线层与基材结合牢固,所布导线的电阻率与导电银颗粒的体积分数及激光功率的大小有关,工艺参数与材料配比合适时,导线电阻率可以达到10^-6Ωcm的数量级,能够满足工业应用的要求。最后,对普通环氧树脂板下激光微细熔覆金属导电浆料直写导线时导线的形成机理和导电机理进行了分析。 相似文献
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