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本文报导了一种用于0.95~1.65μm长波长光通信的ln_(0.53)Ga_(0.47)As光电二机管,在-5V时,灵敏度R≥0.5μA/μW;暗电流I_D<10nA;二极管电容C_D<2pF,文中概述了器件结构和制造方法。  相似文献   
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