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涂胶膜厚优化试验与控制方法   总被引:1,自引:0,他引:1  
洪诗捷  沈奕 《现代显示》2005,(11):44-46
针对本公司目前所用RC-550涂胶机,对影响涂胶膜厚的主要参数(胶轮压力、光刻胶粘度和流量以及胶轮转动速度等)进行试验,得出光刻胶涂布的最优化条件,并对如何获得稳定的涂胶膜厚提出合理化建议.  相似文献   
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