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新型半导体纳米材料的主要制备技术   总被引：1，自引：0，他引：1  
李华乐  成立  王振宇  李加元  贺星  瞿烨 《半导体技术》2006,31(3):217-221,226
简要论述了半导体纳米材料的发展历史及其特点,着重讨论了当前国内外主要的几种半导体纳米材料的制备工艺技术,包括溶胶-凝胶法、微乳液法、模板法、基于MBE和MOCVD的纳米材料制备法、激光烧蚀法和应变自组装法等,并分析了以上几种纳米材料制备技术的优缺点及其应用前景.  相似文献   
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