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得益于体积小、结构紧凑、易集成等优势,基于超构表面的微型光谱探测技术近年来被广泛研究。然而,现有基于超构表面的微型光谱探测系统设计过程中,通常缺乏对超构表面透射光谱相关性均值与重建质量的定量分析。现有设计过程中采用随机选择方法,无法保证重建质量最优。本文定量分析了超构表面透射光谱的相关性均值与重建质量的关系,提出了一种用于微型光谱探测的超构表面设计方法。此外,本文还验证了基于超构表面的微型光谱探测技术的光谱特性,相较于随机选择设计方法,本文所提出方法可提高宽带光谱和图像光谱的重建质量。 相似文献
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偏振是光的固有属性之一,然而传统的光强、光谱探测技术会造成电磁波的偏振信息的丢失。同时,基于偏振测量的器件及技术不仅存在视场局限的问题,而且系统复杂。基于介质型超表面设计了一种紧凑型大视场偏振探测器件,实现了对入射光的角度及偏振态的探测。该器件由2×2的二次相位超表面组成,每个超表面可实现对特定偏振的对称性变换,即将入射角旋转对称性转变为焦平面内焦点平移对称性。二次相位的对称性变换理论使得此文可以在宽角度范围内(-40°~+40°)通过测量焦点的偏移量实现对入射角的表征。在此基础上,分析了斜入射对测量Stokes参数的影响,得到矫正的Stokes公式。利用4个焦点的强度和矫正的Stokes公式可计算出入射光的Stokes参数。在视场角为0°、20°、40°时,测量的Stokes参数与理论值吻合良好。 相似文献
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微结构薄膜望远镜通过表面微纳结构调制光波相位和传播方向,具有轻量化、公差容限大、易于折叠展开的特点,因此成为大口径轻量化空间光学成像技术中的颠覆性技术。本文通过对国内外微纳薄膜望远镜研究进展的调研和分析,概括了薄膜望远镜研制的关键技术和主要技术途径,重点分析了薄膜材料制备、微结构类型研究、系统光学设计理论等内容。微纳薄膜望远镜研制涉及材料、空间环境工程、微纳加工工艺、精密机械和二元光学等众多交叉学科,随着工程化程度要求的提高,会出现新的技术问题,而随着问题的解决很可能获得具有影响力的科技成果。
相似文献8.
微机械往复式无阀泵的振动特性分析 总被引:3,自引:3,他引:0
提出了用于研究微机械往复无阀泵动态特性的二自由度振动力学模型,并进行了分析与实验验证.在模型中增加考虑泵腔内气泡因素,并将泵腔内、外液体质量的影响分开考虑;得出振幅随频率、泵腔内外液体质量比变化的曲线;发现其幅频曲线一般呈双峰特性,泵腔内外液体质量比值对曲线特征、谐振频率、振幅均有显著影响.通过实验验证了分析结果.由此得出以提高泵压为目的的微泵优化设计策略适当增大膜片质量、选择合理的泵腔内外液体质量比值.采用硅深刻蚀、硅-玻璃膜片键合等工艺制作出微机械往复无阀泵,其尺寸为20 mm×20 mm×0.65 mm,实现最大泵压为1.52 kPa,对应最大流量为35×10-6 L/min. 相似文献
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改善深亚微米光刻图形质量的途径 总被引:2,自引:0,他引:2
本文对目前用于提高亚半微以影光刻机成像分辨力、增大焦深的一些新技术;大数值孔径和短波长技术、倾斜照明技术、相移掩模技术、光瞳波技术,多焦面曝光技术以及表面成技术的和现状作了较为详细的阐述,提出了增大0.35μm图表的分辨力和焦深的途径。 相似文献