基于广义椭偏仪的纳米结构测量理论与方法研究

<正>纳米制造是指产品特征尺寸为纳米量级的制造技术。为了实现纳米制造工艺的可操纵性、可预测性、可重复性和可扩展性,保证基于纳米科技的产品满足可靠性、一致性、经济性及规模化生产等多方面的要求,在纳米制造过程中对纳米结构的几何特征参数进行快速、低成本、非破坏性的精确测量具有重要的意义。尽管扫描电子显微镜和原子力显微镜都可以满足纳米级尺度的测量要求,但其显著缺点是速度慢、成本高、设备操作复杂、难以实现在线集成测量。与之相比,光学散射测量技术,由于其本身具有的快速、低成本、非破坏性和易于集成等优点,因而在先进工艺监测与优化领域获得了广泛的应用。     

基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射

在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于灵敏度分析的测量条件优化配置方法来改善待测参数的灵敏度,以实现更高精度的纳米结构测量.实验表明,在理论预估的最优测量配置下,一维纳米结构所有待测参数的测量精确最优,验证了其有效性.     

基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪

提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证明了该紧凑型偏振光谱仪测量的准确性.由于测量速度快、结构简单且易于在线集成,该紧凑型偏振光谱仪作为一种实时在线测量工具极具潜力.     

POAD专家系统中的知识检索方法

为了充分发挥面向问题分析与决策(POAD)专家系统在大容量知识库构建和以人为主导推理方面的优势,需要增强系统的知识检索能力。根据POAD专家系统的知识表示和推理方法设计了简单检索及层次检索方法,简单检索方便,用户不需要特别训练;层次检索则可以实现复杂知识检索,对于大容量知识系统效果尤为明显。此外还设计了模糊检索和结果中再检索等其他检索方法。应用实验表明,在POAD专家系统中设计和开发有效的知识检索方法可以极大地提高专家系统的推理速度。