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李朋马兴峰周伟汤付军曹向前 《洁净与空调技术》2021,(2):64-66
随着我国半导体行业的快速发展,碳化硅电子行业对纯水的使用要求越来越高.采用UF超滤系统+两级RO反渗透系统+EDI电除盐系统+离子交换系统+终端超滤系统的工艺制备生产所需纯水.其中,UF系统除去水中主要的大分子有机和无机悬浮物;RO系统进行脱盐处理;EDI装置进一步深度处理溶解离子;抛光树脂及终端过滤系统深度处理小分子... 相似文献
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