耐高温高压MEMS传声器设计

航空发动机的噪声往往蕴含着丰富的信息,可以作为航空发动机设计评价、故障预警和诊断以及寿命预测的重要依据.航空发动机存在高压高温等内部环境,传统的薄膜式传声器难以在此环境下进行工作.因此,提出一种基于微间距铂丝结构的声场敏感结构,该结构为无封闭腔室的开放式结构,不存在内外压差,工作过程不受环境静压影响;采用耐高温材料,且换能机理对高温环境温度及其变化不敏感.通过仿真对该结构进行了验证,通过微机电系统(Micro?Electro?Mechanical?System,MEMS)工艺对其进行了加工,通过陶瓷基板进行封装,研制出耐高压高温MEMS传声器.最后,在高温高压环境下对该传感器进行了响应测试.试验结果证明,在高温高压环境下该传感器对声波具有良好的响应特性.因此,在高温高压环境下的声场测量方面,该敏感结构具有天然的优势,并且具有良好的发展潜力.     

MEMS矢量传声器研究进展

矢量传声器由声压传感器和质点振速传感器复合构成,可时间同步、空间共点测量声场声压标量及质点振速矢量信息,在开展振动噪声监测、被动声测定位以及声全息成像等相关声学测试方面有着独特的优势,因而具有重要的工程应用价值.质点振速传感器是矢量传声器的核心部件,具有偶极子指向性,可直接感测声场质点振速各正交分量.基于此,介绍基于微...     

光纤传声器概述

对光纤传声器的研究现状进行了总结.首先分别对强度型、光纤光栅型和F-P干涉型光纤传声器展开论述,通过对产品的技术现状对比,得出各类型光纤传声器的优劣势.之后对新型光学传声器进行了介绍,指出虽然新型光学传声器具有体积小、功耗低、成本低等优势,然而其主要针对特殊应用领域.最后阐述了作者在强度型光纤传声器方面的研究成果,为光纤传声器的进一步研究奠定了基础.     

基于光纤传声器的振膜声压灵敏度测试方法

提出一种振膜声压灵敏度测试方法,通过法布里-珀罗干涉式光纤传声器系统,可有效得到振膜声压灵敏度。在理论分析中,应用多光束干涉法进行建模,分析得到振膜声压灵敏度受传声器性能参数的影响关系。应用激光测振仪和提出的测试方法对镍膜的声压灵敏度进行测试,验证了所提测试方法的准确性。最后应用所提出的测试方法测试了小尺寸的微机电（Micro Electro Mechanical System,MEMS）振膜。基于光纤传声器的振膜声压灵敏度测试方法为振膜的选用和高性能传声器的研制奠定了基础。