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阐述了光电位置敏感器件(PSD)的结构、特点、工作原理及其非线性,提出采用电桥理论分析PSD非线性误差的新方法.在此基础上,采用高精度低温漂高输入阻抗前置放大器、加法器、减法器、除法器等电子元器件,对改进型的2D-PSD的信号调理电路进行了设计与调试;使用连续发射的激光光源、分光器、滤光器等光学元器件,设计了一种消除光束漂移的光学系统.通过对数据采集系统的研究、设计,研制开发出直线度的测评软件与研制的高精度多功能激光准直仪相结合,对直线度进行了实时测试与分析,并给出了实验测试结果及其仪器进一步改进的方法,最后对仪器的应用前景作了展望. 相似文献
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