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正时值改革开放四十周年,沈阳真空技术研究所也迎来了自己的六十华诞!在此,向关心、支持和帮助沈真所发展的各界人士和朋友们表示衷心的感谢和诚挚的敬意。忆往昔,峥嵘岁月:建所初期辗转变迁,文革干校磨砺锤炼,改革开放市场探索,院所转制动荡重生,企业重组转型升级。从科室制到公司制,再到事业部制,几代科技工作者用心血和汗水为沈真所铸就了坚实的科技基础,他们把青春奉献给了沈真所,给后继者留下了一笔巨大的、珍贵无比的 相似文献
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磁控溅射镀膜膜厚均匀性设计方法 总被引:1,自引:0,他引:1
镀膜工艺中的薄膜厚度均匀性问题是实际生产中十分关注的。本文在现有的理论基础之上,对溅射镀膜的综合设计方法进行了初步的建立和研究,系统的建立可以采用"整体到部分,再到整体"这一动态设计理念,不断完善设计方法,并将设计方法分为镀膜设备工程设计、镀膜工艺设计和计算机数值仿真三大部分。镀膜设备工程设计、镀膜工艺设计及二者的数值仿真这三者之间是相辅相成的,镀膜设备工程设计决定镀膜工艺过程的实现,镀膜工艺促进镀膜设备的升级,而高性能的计算机仿真设计给两者的设计提供了强有力的支持。 相似文献
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本文结合我所实际样机VCF-3T悬臂式真空电弧炉,对炉体提升机构进行建模分析,把实际受力模型简化为力学模型,对主要承力部件(如立柱)受力分析,得到立柱应力最大部位及应力值。再对实际设备模型进行简化,建立有限元模型,将模型受力分析的应力云图与实际计算得到的数值进行对比,检验现有有限元模型的正确性。在此基础上,结合电弧炉结构尺寸间的关系,将现有几何模型参数化,得到参数化的电弧炉有限元模型。利用有限元分析中的优化模块,在模型满足强度、刚度等条件的基础上,对立柱、炉体的半径和厚度进行优化,使机械结构达到质量最轻、充分发挥材料的性能。同时,将VB语言运用于ANSYS调用分析界面,实现直观的人机界面系统,在产品系列化设计中,减少重复建模的工作量。文中采用的参数优化方法是结构优化设计理论方法的一个重要发展,将其运用到结构设计中具有重要的实用价值。 相似文献