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振动梁式微机械隧道陀螺仪是一种以悬臂梁作为换能构件,以电子隧道效应为输出敏感方式的高精度和高灵敏的角振动传感器,解决了传统机械陀螺仪因尺寸减小而导致的灵敏度降低的缺点。结合微机械隧道陀螺仪的尺寸特点:硅尖与下电极的距离为1μm,齿厚和齿间距之间的距离为4μm,梁的厚度为50μm,提出硅正面刻蚀—玻璃上电极制作—硅玻键合—硅背面减薄—硅背面刻蚀的DDSOG(DeepDrySiliconOnGlass)工艺方案,成功实现了整个器件的工艺制备。本文就DDSOG工艺中的关键工艺进行了一一论述,该工艺不仅能用于隧道陀螺仪的制备,同时也可以制作其它高深宽比传感器或执行器。 相似文献
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提出了包含三步式排泡过程的预烧结工艺以及双凹凼-凸台的微复合键合结构方案,以便有效控制玻璃浆料层中的孔洞生成并精确控制键合间隙。预烧结工艺涉及的三步式排泡包含玻璃液形成、真空排泡与孔洞流平3个过程,该过程有效地排除了气泡,从而抑制了键合中间层中的孔洞形成,其工艺的重复性和鲁棒性很强。微复合键合结构中的内外凹凼用于有效控制多余的熔融的玻璃浆料的流动路径,避免其对封装结构的污染;微阻挡凸台则可以精确地将玻璃浆料层的厚度即键合间隙控制到凸台高度。对键合性能的测试表明,该方案简单有效,键合强度和气密性良好,键合间隙为10.1μm,键合强度为19.07 MPa,键合漏率小于5×10-9 Pa·m3/s。 相似文献
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微机械振动陀螺的耦合误差和隔离耦合的结构设计 总被引:2,自引:0,他引:2
微机械振动陀螺是近几年发展起来的新型惯性元件,其误差源主要有微机械结构的Brownian噪声,电路噪声,机械耦合误差及电子机械耦合误差等,这些误差严重影响陀螺仪的精度。本文提出了单级隔离耦合和双级隔离耦合的结构方案,有效减小机械耦合误差,提高精度。 相似文献
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针对现有微装配系统存在的问题,给出了一种新的理论模型;将微产品装配离散化,便于建立标准化、模块化的实用微装配系统.该模型为灵巧加工及CIMS微系统打下了基础.利用磁悬浮平台代替幸臣/细运动平台传送装配子单元;同时,也利用它作为微装配平台,在一个运动平台实现了瘫臣/细运动;没有导线与运动平台相连。实现了平台的长距离运动.巧妙地利用平台运动实现线激光对微装配环境的扫描,获取微装配环境的三维信息.将全局/局部视觉系统分离,增加了操作空间.采用两种模型对磁悬浮系统进行控制,满足了瘫臣/细运动精度.采用该理论模型可以简化系统的结构,提高装配效率. 相似文献