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一般工业技术
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1.
溶胶-凝胶法中热处理对PMNT薄膜结构的影响
邸利锋
丁爱丽
何夕云
罗维根
《无机材料学报》
2002,17(2):299-305
研究用溶胶-凝胶方法制备PMNT(铌镁酸铅)薄膜的工艺过程.通过XRD和SPM系统地分析了热处理条件(热解温度和退火条件)与PMNT薄膜的形态.结晶和取向的对应关系,已建立起制备高度取向 PMNT薄膜的工艺.并成功地在Pt/Ti/SIO
2
/Si衬底上制备成(111)取向的PMNT薄膜.
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