排序方式: 共有8条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
2.
3.
4.
建立了测定高纯三氟化氮(NB)气体中痕量一氧化二氮(N2O)的选择离子监测(SIM)方式的气相色谱/质谱法。采用Porapak Q PLOT毛细管色谱柱(30m×0.32mm×5μm),以m/z=44作为定量选择离子。同时考察了NF3工艺气物流对所选离子的测定干扰情况。方法在浓度为(5~100)×10^-6(摩尔分数)范围内与峰面积呈线性关系,线性相关系数r=0.999,最低检测限为1×10^-6(摩尔分数)。平均加标回收率为90.20%~97.05%,测定相对标准偏差(RSD)〈5.33%。 相似文献
5.
色谱-质谱联用法测定三氟化氮中痕量六氟化硫 总被引:1,自引:0,他引:1
用选择离子监测 (SIM)方式测定了高纯三氟化氮 (NF3)气体中痕量六氟化硫 (SF6 )。采用 pora PLOT Q毛细管色谱柱φ3 0 m× 0 .3 2 mm× 5μm,选择 m/ z 1 2 7作为定量离子 ,同时考察了 NF3工艺气物流对所选离子的测定干扰情况。在浓度为 2 .0~ 1 0 0 μL/ L范围内 ,峰面积与浓度呈线性关系 ,线性相关系数 r=0 .9996。最低检测限为 0 .2μL/ L,平均加标回收率为 92 .70 %~ 97.0 4 % ,日内测定结果的 sr<4 .1 7% ,日间测定结果的 sr<5 .3 3 %。 相似文献
6.
7.
8.
1