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一般工业技术
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1.
溅射离子泵的寿命试验
高见进
福本定吉
陆经
《真空》
1977,(6)
KEK质子同步加速器的予注入器用了四个1000升/秒的溅射离子系来抽双等离子体离子源的大量气体负载。为了估计泵单元的寿命,一个500升/秒二极溅射泵在大约3×10-5乇氢气压力下运行1000小时以上。泵单元稍微作了改进以防止钛阴极板的变形。抽速由一个1Cm直径的园形小孔的两边压差来确定。即使钛板几乎没有变化,但抽速从开始时的500升/秒减小到试验终了时的350升/秒。化学分析表明氢分子不是均匀地扩散在整块钛板上的。
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