乳化氧化预处理-氯化蒸馏法回收锗的工艺研究

基于皂化处理含油锗废料的方法,研究了一种回收锗的新工艺,即含油锗废料乳化、氧化处理后,用盐酸进行氯化蒸馏回收GeCl_4,省去了燃烧收尘等步骤。考察了洗衣粉、洗涤剂、双氧水和盐酸的用量对锗回收率的影响,并通过正交试验确定最佳反应组合条件,该条件下锗的回收率达99.80%。与常规氢氧化钠-盐酸蒸馏法回收锗的方法相比,该工艺操作简便,生产成本低,环境污染小。     

消除外延衬底中心圈缺陷的晶片清洗工艺研究及应用

针对全自动清洗机清洗的晶片,长外延后衬底易出现中心圈缺陷的问题,采取含有机溶剂乙醇的SC1清洗液、含双氧水和氨水的有机溶液SC2和有机溶液SC3溶液等六个步骤清洗晶片的自动清洗工艺,达到了消除外延衬底中心圈缺陷的效果。     

硅-锗合金废料中锗的回收研究

研究了硅-锗合金废料中锗的回收,采用碳酸钠+Na2O2熔融-磷酸中和-盐酸蒸馏法,并对工艺进行了优化。该工艺具有回收率高、成本低、环境友好等优点。