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硅作为信息载体在当今世界的信息革命中起着重要作用。硅的质量和硅的成本对集成电路生产有极大影响。因此,有必要在提高硅质量的同时降低硅生产的成本。成本分析表明,多晶成本对于硅材料的成本来说是很重要的。多晶硅成本取决于生产规模,还原炉的结构以及对还原炉排除物的综合利用的程度。影响单晶成本的部分因素是单晶炉的性能和单晶炉的装料量。单晶的直径与器件工艺关系密切。大直径的效益要联系器件的效益统一考虑。文中分析了器件对单晶直径的要求。作者认为,大力支持包括硅材料在内的固态电子工业,发展联合企业,加强硅的新工艺的研究是今后硅工业发展的重要途径。 相似文献
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全国第二届半导体硅材料学术会议于1982年10月23日至29日在安徽黄山召开。出席会议的有12个部委从事半导体硅材料科研、生产单位和高等院校的代表165名。会议由中国金属学会委托上海有色金属研究所主办。会议收到有关硅多晶、单晶、硅片加工、检测、杂质与缺陷以及其它方面的论文121篇,全体会上宣读特约论文三篇,分组会宣读论文118篇。从这些论文和座谈讨论中可以反映出:1.在多晶工艺和设备上作了较深人的研究,对杂质行为,耐腐蚀材料,还原尾料回收以及降低成本等方面的研究取得了进展,提高了多晶的纯度与稳定性。2.直 相似文献
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