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1.
微机电系统(MEMS:Microelectro-Mechanic System)是一个集成化系统,该系统既有传感单元,又有中央处理控制单元及执行相应操作的单元,它涉及医药、生物、材料、电子、机械、集成电路工艺等多方面的内容．MEMS技术的产生和发展将带动众多交叉学科与高新  相似文献   
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