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介绍由激振控制系统、数字存储示波器和计算机等组成的硅加速计幅频行性全自动采集处理的硬件系统和软件技术,并利用这套系统对TJA型仪表级加速度计进行了大量的采集标定。 相似文献
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外延衬底在集成电路生产中的重要性是众所周知的.日、美等国早就十分重视外延衬底制备以及外延工艺的研究,把它作为半导体器件生产中一整套“完美晶体技术”的重要组成部分,作了很多深入细致的研究工作.我国从七十年代起也开始衬底制备工艺的研究,有关厂所也做了一些工作,相继发表了一些有关的文章. 相似文献
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求传感器最佳拟合直线的新方法 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一个能够求得最佳拟合直线和最小独立非线性误差的新方法。这个新方法是一种把最小二乘直线进行“逐步逼近转动操作”的方法。这样,使人们长期希望在实际上求得最小独立非线性误差的愿望得以实现。这个新方法对于所有线性传感器和传动装置都是普遍适用的。 相似文献
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介绍了采用簧片式硅弹性膜芯片研制成功的压力敏感元件和传感器,利用这种硅芯片已制得灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器。 相似文献
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簧片式硅弹性膜应力分布的计算和加速度传感器的优化设计 总被引:2,自引:1,他引:1
为了提高我们已研制成功的新型簧片式硅加速度传感器的性能,用有限元法计算了不同形状和尺寸的质量块在40g值加速度作用下产生的应力分布,使我们优选了最佳的质量块设计方案,显著地提高了灵敏度,取得了与理论计算符合得很好的实验结果。 相似文献
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介绍由激振控制系统、数字存储示波器和计算机等组成的硅加速计幅频特性全自动采集处理的硬件系统和软件技术,并利用这套系统对TJA型仪表级硅加速度计进行了大量的采集标定. 相似文献
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