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针对陶瓷基微热板MEMS器件难以微加工,器件表面加热Pt膜使用普通正性光刻胶难以实现光刻剥离的工艺难点问题,提出了激光微加工和柔性机械剥离相结合的微加工方法。以AlN陶瓷为衬底基片,采用激光微加工技术实现热隔离刻蚀体加工,刻蚀梁宽可达0.2 mm。采用柔性机械剥离工艺制备方法解决普通正性光刻胶形成倒梯形凹槽Pt膜难实现图形化问题,可在复杂表面特性的陶瓷基衬底上实现Pt膜剥离线宽10μm。同时利用有限元法进行传感器阵列设计和热结构仿真,验证设计工艺的可行性。 相似文献
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针对深海热液区沉积物温度梯度变化微小、水下精细探测难度大等问题,提出了一种基于载人潜水器的高分辨力温度梯度检测系统。系统主要包括温度梯度探针和电子舱,探针和电子舱之间用水密揽连接,探针内装有高精度NTC热敏元件,电子舱内装有精密信号调理电路、系统控制单元和锂电池等模块。本文从原理上对信号调理电路进行设计,提高了系统分辨力,降低了电路漂移和失调性能,解决了NTC热敏元件互换性差、输出信号微弱等问题;对系统结构进行有限元分析,优化设计结构,减轻了系统重量;最后在实验室完成了系统测试,本系统使用标定分度为005 ℃的NTC热敏元件,系统量程为0~5 ℃,分辨力0001 ℃,工作水深范围是2 000~4 000 m。在西南印度洋大禧热液区搭载蛟龙号载人潜水器完成了水下实验,实验结果表明,本系统结构设计合理,能够与载人潜水器协同作业,成功获取了大禧热液区深海沉积物的温度梯度数据。 相似文献
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