基于触发词指导的自相似度聚类事件检测

传统方法将事件检测任务看作分类问题,将词作为实例来训练分类器,容易导致训练正反例不平衡,同时,在语料库规模较小时存在一定的数据稀疏问题。首先避开以词为实例进行分类,在事件类别判断上引入聚类思想,在事件触发词的指导下,采用自相似度对K-means聚类算法中的K值进行自收敛,优化了聚类算法。然后结合命名实体及其位置信息,对事件类别进行详细定位,很好地解决了传统事件检测对类别模板的依赖性,所检测的事件在文本摘要、检索和主题检测与追踪上得到了很好的应用。     

E1310P和FMEE复配对铜膜CMP性能的影响

针对化学机械抛光(CMP)中传统唑类缓蚀剂毒性强、成本高,在表面形成坚硬钝化膜难以去除等问题,在甘氨酸-双氧水体系下,使用阴离子表面活性剂聚氧乙烯醚磷酸酯(E1310P)和非离子表面活性剂脂肪酸甲酯乙氧基化物(FMEE)复配替代传统唑类缓蚀剂。通过去除速率、表面粗糙度和表面形貌等的实验结果研究了E1310P和FMEE协同作用对CMP过程中表面质量的影响。通过表面张力、电化学性能、X射线光电子能谱(XPS)和密度泛函理论(DFT)揭示了E1310P和FMEE的协同吸附行为及其机理。结果表明,E1310P可以吸附在Cu的表面,降低Cu的去除速率;FMEE的加入能有效屏蔽E1310P离子头基间的电性排斥作用,使更多的E1310P吸附在Cu的表面,在协同作用下形成了更致密的抑制膜,使得CMP抛光性能得以提升。