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1.
基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作 总被引:2,自引:0,他引:2
采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。 相似文献
2.
通过对切屑形成过程的动态观察和已加工表面的微观形貌分析,结合切削过程的力学解析,阐明了非晶态聚合物特有的几种切屑及已加工表面的形成机理。 相似文献
3.
自适应光学系统MEMS微变形镜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
指出了传统变形镜研究所面临的瓶颈,以及采用MEMS技术研究微变形镜的优点.介绍了利用静电力驱动的平板电容式分立式微变形镜.分析结果表明它具有比传统变形镜更优越的性能.指出了进一步研究与发展MEMS微变形镜还需要解决的若干重要问题. 相似文献
4.
基于Agent的虚拟企业合作伙伴选择方法 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一个虚拟企业合作伙伴选择过程模型和基于Agent的合作伙伴选择系统,系统包括核心企业Agent域和合作伙伴Agent域,核心企业Agent域由管理Agent、任务规划Agent和评价Agent组成。介绍了规划Agent把一个任务分解为多个子任务组成的工作流,以及决策Agent中模糊变量的创建方法、基于XML的模糊规则表示方法和推理机的工作原理。 相似文献
5.
越来越多的生物学研究聚焦在单细胞层面,然而现有基于化学表面修饰的单细胞定位培养芯片存在制备工艺复杂,且细胞定位层图形质量较差影响细胞定位效果的问题。为此,提出一种一步成形的方法,利用聚甲基丙烯酸2-羟乙酯(poly 2-hydroxyethyl methacrylate,Poly HEMA)抑制细胞粘附的特性并结合毛细微模塑技术制备芯片。细胞验证结果表明,该芯片具有制备过程简单,图形完整性和稳定性良好的特点,为基于单细胞的生物学研究提供了一种新方法。 相似文献
6.
7.
8.
针对异构CAD/CAPP/CAM系统的特征集成,提出一种异构三维CAD模型制造特征重构过程:确定基本形状特征分类,在此基础上构造设计特征库和制造特征库;通过基于产品数据交换标准(STEP)的特征识别技术实现异构三维CAD模型设计特征提取,并采用基于参数化二维图素多态耦合的特征识别方法,提高特征识别系统的代码重用性;运用成组技术建立制造特征族后,通过特征映射实现制造特征重构。 相似文献
9.
电容式微机械惯性传感器信号检测技术研究 总被引:5,自引:0,他引:5
针对具有差分电容接口的微机械惯性传感器提出了一种基于电荷放大器和相关检测技术的接口电路方案.采用电荷放大器作为电容-电压转换电路,来去除传感器本身以及传输导线引起的寄生电容的干扰.利用PSPICE模拟了桥路的不对称性对电路输出的影响,经过比较采用单载波差分电桥结构以进一步增大电容检测的灵敏度.采用相关检测技术进行解调,通过解调电路对前置输出电压和载波信号进行相关运算从而消除电路的宽频噪声;给出了包括布线、接地、去耦等电路工艺的设计原则.采用一组标定电容作为传感器的模型进行了实验,实验电路灵敏度可以达到195V/pF,最小分辨率为1fF.采用该方案能够满足对普通精度的电容式微机械惯性传感器信号的检测. 相似文献
10.
将z轴微机械陀螺两个模态的机械噪声效应等效为各自在单位噪声力作用下的振动,根据陀螺的工作原理得到两个噪声力作用下陀螺敏感模态的机械输出噪声。建立了包含运放和电路板非理想因素在内的接口电路的噪声模型。结合机械噪声模型和接口电路模型噪声,建立了包括结构参数和电路最小检测电容量在内的陀螺的噪声等效输入角速度模型,为陀螺的设计优化提供了参考。分析了结构参数对陀螺等效输入角速度噪声影响,并采用两个参数不同的电容式z轴微机械陀螺进行了实验。结果表明,通过结构参数的调整,将电容式z轴微机械陀螺的输出噪声从414μV/Hz降低至235μV/Hz。 相似文献