五遥功能在电力调度自动化系统中的实现

介绍茅台酒股份有限公司电力调度管理系统的五遥功能和实现方式.     

基于微电铸的非硅MEMS加速度传感器

简单介绍了Silicon Design公司开发的非硅MEMS传感器的设计、工艺、输出信号的处理技术.通过巧妙设计和使用铸Ni技术成功地改善了梁的扭摆特性.实测结果表明,10 g产品的输出交流噪声有效值和漂移被分别控制在0.4 mV和4 mV;50 g产品虽然漂移偏大,但其线性系数K2还是达到了10-3～10-4的水准.     

无掩膜腐蚀与伺服型电容式微加速度计

为了解决“三明治”这类微器件制作的深窄槽结构成型问题,运用无掩膜湿法腐蚀技术,成型悬臂梁雏形后再成型质量块,较好地实现了悬臂梁与质量块同时准确成型,研制出±70g和±5g两种不同量程的微加速度计。样品测试表明,利用这项技术所制作的微加速度计相对精度皆优于1×10^-4。其中,±70g量程的残差可控制在7mg以内,非线性可达0．02％;±5g量程的残差在0．4mg左右。     

锅炉新型PLC控制系统设计及应用

为达到锅炉自动燃烧,经济运行的目的。采用P L C新型控制系统,配合智能控制算法,通过对现场参数的优化分析,现场设备的远程控制,实现了锅炉的无人化运行。实践证明,该控制系统具有优良的控制效果和可靠性。     

论西南山地历史城镇保护的特殊性及其方法

本文以西南山地历史城镇为研究对象,分析了历史城镇的特殊价值和保护上的特殊性,进而研究在城市化快速发展的情况下,西南山地历史城镇的适应性保护方法。     

无粘连键合技术与伺服型±70 g微加速度传感器

为了解决电容极板间隙低至3 μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70 g的量程,单边线性二次项系数10-6量级,残差控制在15 mg以内,相对精度达到了2×10-4,达到了设计要求.     

激光落料在陶瓷基片加工中的应用研究

本文对数控CO2激光器设备进行了介绍,在工艺实践中,根据数控CO2激光器的特点和加工产品的具体参数,设计编出相应的加工工艺图形和加工参数程序,并设计出相应的加工夹具。可实现复杂精密陶瓷类产品的加工。     

石英玻璃薄板激光精密切割技术

为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法.通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm～20μm范围内.对石英玻璃薄板的激光精密切割进行了实验验证,实验结果表明,激光精密切割技术能够较好地运用于石英玻璃薄板的精密切割加工中,其加工精度优于20μm、中心对称度小于μm.这一结果和激光源选择方法对石英材料激光精密加工技术研究及其设备研制是有帮助的.     

硅基微机械加工技术

阐明了微机电系统（MEMS）的学科内涵,概述了体微机械加工技术、表面微机械加工技术和复合微机械加工技术的特点,运用具体实例对三种硅基微机械加工技术的基本制作工艺过程进行了讨论。     

单晶硅各向异性湿法刻蚀的研究进展

单晶硅各向异性湿法刻蚀是制作硅基微电子机械系统(MEMS)器件的重要步骤之一,由于具有刻蚀均匀性好、批量大、成本低的优点而深受关注。首先回顾了单晶硅各向异性湿法刻蚀的刻蚀机理,比较了三种常用各向异性刻蚀液的刻蚀性质,讨论了刻蚀形状的控制技术。然后着重介绍了表面活性剂修饰的单晶硅各向异性湿法刻蚀速率和刻蚀表面光滑度等特性,以及面向MEMS应用的基于该刻蚀技术的各种微纳新结构;分析了表面活性剂分子在刻蚀过程中的作用,强调了表面活性剂分子在单晶硅表面的吸附性对改变刻蚀表面的物理性质的重要性。最后在此基础上,归纳了单晶硅各向异性湿法刻蚀的发展情况,探讨了其未来的发展方向。