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将微管道换热器抽象成多孔介质模型,由Brinkman-extended Darcy方程出发,分别按照双方程模型和单方程模型进行求解,以得到微管道内流体的速度场和温度场分布,并对单方程模型和双方程模型的解析解进行了对比,讨论了微管道高宽比和有效导热系数比对流动与传热的影响。证明了由基于多孔介质双方程、单方程模型所得的解析解均可用于预测微管道换热器中的容积平均速度与温度分布。利用基于多孔介质双方程模型还可得出微管道换热器的总热阻和优化设计结构,结合硅衬底上的多路感应耦合等离子体刻蚀工艺加工出了经结构优化的硅制微管道换热器。在满足局部热平衡条件下,基于多孔介质单方程模型更适用于实际工程计算,不必经由预先的试验确定换热系数。 相似文献
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研制了双栅GaAs MESFET的计算机辅助测试系统,可广泛应用于一般四端(或小于四端)器件.该系统包括硬件部分——四端器件直流特性的计算机读入设备FMR,和通用软件部分——FMR-BASIC.同时研制了工艺参数最优化分析程序——DGF TPOA,从而能够自动测报常规直流特性,并由所测结果按最优化技术(单纯形调优法)分析给出工艺参数n、a、L_1、L_2. 相似文献
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研究了对双框架微机械陀螺性能有重要影响的关键制备技术,即不去胶条件下的电铸厚度检测、控制技术,以及结构层内应力的检测、控制技术。在此基础上采用本实验室自对准的准LIGA工艺制备出陀螺结构,其活动区面积为1．0×1．0mm2,框架厚度4μm。经加电测试,已观测到内、外框架在空气中的振动。 相似文献
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金属镍微型静电马达的初步研制 总被引：1，自引：0，他引：1
设计了一种材料为金属镍的摆动式(WObble)微型静电马达,马达转子直径140μm,厚度8μm,外观总体尺寸1 mm×1 mm.此马达首先是在硅衬底上利用准LIGA技术电镀形成,然后利用RIE释放.文中给出了微型摆动式静电马达的设计思想和制作工艺,并对工艺及马达驱动中出现的一些问题进行讨论. 相似文献
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