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分析了高温高浓度磷扩散工艺生产中的种种弊病,提出了类似于硼扩散的磷扩散方法,详细分析了新方法的可行性及优点,实验结果和理论分析一致。 相似文献
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GaN蓝光LED电极接触电阻的优化 总被引:1,自引:0,他引:1
通过分析LED的工作电压和晶圆上两相邻N电极间电阻来讨论快速退火(RTA)和表面处理对GaN基蓝光LED接触电极的影响.研究了p-GaN表面处理对Ni/Au与p-GaN接触电阻的影响.结果表明,用KOH清洗p-GaN表面比用HCl清洗更能有效地改善Ni/Au与p-GaN的接触电阻.讨论了在氧和氮混合气氛下两种退火温度对P电极接触电阻的影响,当退火温度从570 ℃升到620 ℃时接触电阻升高.研究了氮气氛下不同退火温度和时间对LED电极接触的影响,发现在480 ℃下连续退火对N接触有利,但却使P接触变差,而450 ℃、10 min的氮气氛退火能同时得到较好P接触和N接触. 相似文献
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提出了一套对椭偏仪的测量误差进行有效修正的方案,设计了一个Windows版的椭偏仪测厚数据处理软件,并在该软件中嵌入了对测量数据的误差进行修正的方法,使椭偏仪的最终测量结果更加精确。制作了30片厚度梯度分布的标准样片(厚度20nm~1μm),用于从“软”、“硬”件两个方面对椭偏仪进行误差修正,使最终的误差小于1%。本文所提出的修正方案具有一定的普适性、实用性。 相似文献
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有机薄膜晶体管是一种受到日益重视和正被广泛研究的新型电子器件。本文论述了有机薄膜晶体管的优点、基本结构、材料以及近几年来国外在该领域的最新研究进展。并对有机薄膜晶体管的应用前景做了展望。 相似文献